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產(chǎn)品特點(diǎn)：

可實(shí)現(xiàn)更小占地面積、卓越生產(chǎn)力、極佳清潔效果的批次設(shè)備。

可實(shí)現(xiàn)芯片干進(jìn)干出需求，搭配Maragoni Dryer或在線式旋干機(jī)等各種干燥技術(shù)。

高精度自動(dòng)配液混酸，全自動(dòng)系列客制化機(jī)種。

模組化設(shè)計(jì)易于維護(hù)，降低維修各項(xiàng)成本。

12” ,8” ,6”各種尺寸光罩清洗。